ในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และชีวเภสัชภัณฑ์การอบอ่อนที่สว่างสดใส(BA) การดองหรือการทำให้เกิดชั้นป้องกัน (AP)การขัดเงาด้วยไฟฟ้า (EP)และการบำบัดขั้นที่สองด้วยสุญญากาศโดยทั่วไปใช้สำหรับระบบท่อส่งที่มีความบริสุทธิ์สูงและสะอาดซึ่งส่งผ่านสารที่ไวต่อการกัดกร่อนหรือสารกัดกร่อน ผลิตภัณฑ์ที่ละลายแล้ว (VIM+VAR)
A. การขัดเงาด้วยไฟฟ้า (Electro-Polished หรือ EP) เป็นกระบวนการขัดเงาด้วยไฟฟ้า ซึ่งสามารถปรับปรุงลักษณะและโครงสร้างของพื้นผิวได้อย่างมาก และลดพื้นที่ผิวจริงลงได้ในระดับหนึ่ง พื้นผิวจะเป็นฟิล์มโครเมียมออกไซด์หนาและปิดสนิท พลังงานใกล้เคียงกับระดับปกติของโลหะผสม และปริมาณสารขัดเงาลดลง – โดยทั่วไปเหมาะสำหรับเกรดอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซบริสุทธิ์สูง.
B. การอบชุบความร้อนแบบสว่าง (Bright Annealing) หรือเรียกย่อว่า BA คือการอบชุบความร้อนที่อุณหภูมิสูงในสภาวะที่มีไฮโดรเจนหรือสุญญากาศ ซึ่งในด้านหนึ่งจะช่วยขจัดความเครียดภายใน และในอีกด้านหนึ่งจะสร้างฟิล์มป้องกันบนพื้นผิวของท่อเพื่อปรับปรุงโครงสร้างทางสัณฐานวิทยาและลดระดับพลังงาน แต่ไม่เพิ่มความหยาบของพื้นผิว – โดยทั่วไปเหมาะสำหรับ GN2, CDA และก๊าซเฉื่อยที่ไม่ผ่านกระบวนการผลิต
C. ท่อที่ผ่านกระบวนการดองและพาสซิเวชัน/ขัดเงาด้วยสารเคมี (Pickled & Passivated/Chemically Polished) เรียกย่อว่า AP และ CP การดองหรือการพาสซิเวชันของท่อจะไม่เพิ่มความหยาบของพื้นผิว แต่สามารถกำจัดอนุภาคที่เหลืออยู่บนพื้นผิวและลดระดับพลังงานได้ แต่จะไม่ลดจำนวนชั้นกลาง – ซึ่งมักใช้ในท่อเกรดอุตสาหกรรม
D. ท่อทำความสะอาดแบบละลายซ้ำด้วยสุญญากาศ Vim (Vacuum Induction Melting) + Var (Vacuum Arc Remelting) หรือเรียกย่อว่า V+V เป็นผลิตภัณฑ์ของบริษัท Sumitomo Metal Company ซึ่งผ่านกระบวนการอีกครั้งภายใต้สภาวะอาร์คในสภาวะสุญญากาศ ทำให้เพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนและความเรียบของพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพ ระดับความทนทาน – โดยทั่วไปเหมาะสำหรับก๊าซเกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนสูง เช่น BCL3, WF6, CL2, HBr เป็นต้น
วันที่เผยแพร่: 8 เมษายน 2567

