การก่อสร้างท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูง

1. บทนำ

ด้วยการพัฒนาของประเทศของฉันเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมการผลิตแกนกลาง การประยุกต์ใช้ท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงการใช้ท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงกำลังแพร่หลายมากขึ้นเรื่อยๆ อุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ การแพทย์ และอาหาร ล้วนใช้ท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงในระดับที่แตกต่างกัน ดังนั้น การก่อสร้างท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงจึงมีความสำคัญต่อเรามากขึ้นเช่นกัน

2. ขอบเขตการใช้งาน

กระบวนการนี้เหมาะสำหรับการติดตั้งและทดสอบท่อส่งก๊าซในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์เป็นหลัก รวมถึงการเชื่อมท่อส่งก๊าซสแตนเลสผนังบาง นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการก่อสร้างท่อส่งที่สะอาดในโรงงานยา อาหาร และโรงงานอื่นๆ อีกด้วย

3. หลักการของกระบวนการ

ตามลักษณะของโครงการ การก่อสร้างโครงการแบ่งออกเป็นสามขั้นตอน แต่ละขั้นตอนต้องผ่านการตรวจสอบคุณภาพและความสะอาดอย่างเข้มงวด ขั้นตอนแรกคือการผลิตชิ้นส่วนท่อสำเร็จรูป เพื่อให้มั่นใจในข้อกำหนดด้านความสะอาด การผลิตชิ้นส่วนท่อสำเร็จรูปโดยทั่วไปจะดำเนินการในห้องผลิตชิ้นส่วนสำเร็จรูประดับ 1000 ขั้นตอนที่สองคือการติดตั้งในสถานที่ ขั้นตอนที่สามคือการทดสอบระบบ การทดสอบระบบส่วนใหญ่จะทดสอบอนุภาคฝุ่น จุดน้ำค้าง ปริมาณออกซิเจน และปริมาณไฮโดรคาร์บอนในท่อ

4. จุดก่อสร้างหลัก

(1) การเตรียมการก่อนการก่อสร้าง

1. จัดการแรงงานและเตรียมเครื่องจักรและอุปกรณ์ที่ใช้ในการก่อสร้าง

2. สร้างห้องสำเร็จรูปที่มีระดับความสะอาด 1000

3. วิเคราะห์แบบก่อสร้าง จัดทำแผนงานก่อสร้างตามลักษณะของโครงการและสภาพจริง และจัดทำสรุปข้อมูลทางเทคนิค

(2) การผลิตท่อล่วงหน้า

1. เนื่องจากท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงต้องการความสะอาดสูงมาก เพื่อลดภาระงานเชื่อมที่หน้างานติดตั้งและเพื่อให้มั่นใจในความสะอาด การก่อสร้างท่อจึงเริ่มต้นด้วยการประกอบชิ้นส่วนล่วงหน้าในห้องประกอบชิ้นส่วนสำเร็จรูปชั้น 1000 บุคลากรที่ก่อสร้างควรสวมใส่เสื้อผ้าที่สะอาดและใช้เครื่องจักรและเครื่องมือที่สะอาด และคนงานก่อสร้างควรมีจิตสำนึกด้านความสะอาดอย่างสูงเพื่อลดการปนเปื้อนของท่อในระหว่างกระบวนการก่อสร้าง

2. การตัดท่อ การตัดท่อใช้เครื่องมือตัดท่อแบบพิเศษ ปลายที่ตัดจะต้องตั้งฉากกับแกนกลางของท่ออย่างสมบูรณ์ เมื่อตัดท่อ ควรระมัดระวังไม่ให้ฝุ่นและอากาศจากภายนอกเข้าไปปนเปื้อนภายในท่อ ควรจัดกลุ่มและกำหนดหมายเลขให้กับวัสดุเพื่อความสะดวกในการเชื่อมแบบกลุ่ม

3. การเชื่อมท่อ ก่อนการเชื่อมท่อ ต้องจัดทำโปรแกรมการเชื่อมและป้อนข้อมูลลงในเครื่องเชื่อมอัตโนมัติ ชิ้นงานทดสอบการเชื่อมจะดำเนินการได้ก็ต่อเมื่อชิ้นงานนั้นผ่านเกณฑ์คุณภาพแล้วเท่านั้น หลังจากเชื่อมเสร็จหนึ่งวัน ก็สามารถเชื่อมชิ้นงานอีกครั้งได้ หากชิ้นงานผ่านเกณฑ์คุณภาพแล้ว พารามิเตอร์การเชื่อมจะคงที่ โดยจะถูกบันทึกไว้ในเครื่องเชื่อม และเครื่องเชื่อมอัตโนมัติมีความเสถียรมากในระหว่างการเชื่อม ดังนั้นคุณภาพการเชื่อมจึงได้มาตรฐาน คุณภาพการเชื่อมถูกควบคุมโดยไมโครคอมพิวเตอร์ ซึ่งช่วยลดผลกระทบจากปัจจัยมนุษย์ต่อคุณภาพการเชื่อม เพิ่มประสิทธิภาพการทำงาน และผลิตงานเชื่อมคุณภาพสูง

4. กระบวนการเชื่อม

การก่อสร้างท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูง

(3) การติดตั้ง ณ สถานที่

1. การติดตั้งท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงในสถานที่ควรดำเนินการอย่างเป็นระเบียบและสะอาด และผู้ติดตั้งต้องสวมถุงมือที่สะอาด

2. ระยะห่างในการติดตั้งของตัวยึดต้องเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบในแบบแปลน และจุดยึดแต่ละจุดควรหุ้มด้วยปลอกยางพิเศษสำหรับท่อ EP

3. เมื่อขนส่งท่อสำเร็จรูปไปยังสถานที่ก่อสร้าง ห้ามกระแทกหรือเหยียบย่ำท่อ และห้ามวางท่อลงบนพื้นโดยตรง หลังจากติดตั้งโครงยึดแล้ว ท่อจะต้องยึดติดแน่นทันที

4. ขั้นตอนการเชื่อมท่อในสถานที่ก่อสร้างนั้นเหมือนกับขั้นตอนการเชื่อมในขั้นตอนการผลิตชิ้นส่วนสำเร็จรูปทุกประการ

5. หลังจากทำการเชื่อมเสร็จสิ้น และบุคลากรที่เกี่ยวข้องได้ตรวจสอบตัวอย่างรอยเชื่อมและรอยเชื่อมบนท่อที่จะผ่านการรับรองแล้ว ให้ติดฉลากรอยเชื่อมและบันทึกข้อมูลลงในบันทึกการเชื่อม

(4) การทดสอบระบบ

1. การทดสอบระบบเป็นขั้นตอนสุดท้ายในการก่อสร้างระบบก๊าซบริสุทธิ์สูง โดยจะดำเนินการหลังจากเสร็จสิ้นการทดสอบแรงดันในท่อส่งและการไล่ก๊าซออกจากระบบแล้ว

2. ก๊าซที่ใช้ในการทดสอบระบบต้องเป็นก๊าซที่มีคุณภาพตามข้อกำหนด ความสะอาด ปริมาณออกซิเจน จุดน้ำค้าง และไฮโดรคาร์บอนของก๊าซต้องเป็นไปตามข้อกำหนด

3. ทำการทดสอบตัวบ่งชี้โดยการเติมก๊าซที่มีคุณภาพลงในท่อส่ง และวัดค่าด้วยเครื่องมือที่ทางออก หากก๊าซที่พ่นออกมาจากท่อส่งมีคุณภาพ แสดงว่าตัวบ่งชี้ของท่อส่งนั้นมีคุณภาพเช่นกัน

5. วัสดุ

โดยทั่วไป ท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงจะใช้ท่อสแตนเลสผนังบางตามข้อกำหนดของกระบวนการไหลเวียนของสารตัวกลาง ซึ่งมักจะเป็นสแตนเลส 316L (00Cr17Ni14Mo2) ส่วนประกอบหลักคือธาตุผสมสามชนิด ได้แก่ โครเมียม นิกเกล และโมลิบเดนัม การมีโครเมียมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของสแตนเลสในสภาวะออกซิไดซ์และสร้างชั้นฟิล์มออกไซด์ที่อุดมด้วยโครเมียม ในขณะที่การมีโมลิบเดนัมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของสแตนเลสในสภาวะที่ไม่ใช่ออกซิไดซ์ ส่วนนิกเกลเป็นธาตุที่ก่อตัวเป็นออสเทนไนต์ การมีอยู่ของนิกเกลไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็กเท่านั้น แต่ยังช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของเหล็กในกระบวนการผลิตอีกด้วย