การก่อสร้างท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

I. บทนำ

ด้วยการพัฒนาของประเทศของฉันเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมการผลิตแกนกลางการประยุกต์ใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกำลังแพร่หลายมากขึ้นเรื่อยๆ อุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ ยา และอาหาร ต่างใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในระดับที่แตกต่างกัน ดังนั้นการใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในการก่อสร้างจึงมีความสำคัญมากขึ้นสำหรับเราเช่นกัน

2. ขอบเขตการใช้งาน

กระบวนการนี้ส่วนใหญ่เหมาะสำหรับการติดตั้งและทดสอบท่อส่งก๊าซในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ และการเชื่อมท่อส่งก๊าซสแตนเลสผนังบาง นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการก่อสร้างท่อสะอาดในโรงงานยา อาหาร และโรงงานอื่นๆ

3. หลักการกระบวนการ

ตามลักษณะของโครงการ การก่อสร้างโครงการแบ่งออกเป็น 3 ขั้นตอน แต่ละขั้นตอนจะต้องผ่านการตรวจสอบคุณภาพและความสะอาดอย่างเข้มงวด ขั้นตอนแรกคือการสร้างท่อสำเร็จรูป เพื่อให้มั่นใจถึงข้อกำหนดด้านความสะอาด โดยทั่วไปการผลิตท่อสำเร็จรูปจะดำเนินการในห้องสำเร็จรูป 1,000 ระดับ ขั้นตอนที่สองคือการติดตั้งนอกสถานที่ ขั้นตอนที่สามคือการทดสอบระบบ การทดสอบระบบจะทดสอบฝุ่นละออง จุดน้ำค้าง ปริมาณออกซิเจน และปริมาณไฮโดรคาร์บอนในท่อเป็นหลัก

4. จุดก่อสร้างหลัก

(1) การเตรียมการก่อนการก่อสร้าง

1. จัดระเบียบแรงงานและจัดเตรียมเครื่องจักรและอุปกรณ์ที่ใช้ในการก่อสร้าง

2.สร้างห้องสำเร็จรูปด้วยระดับความสะอาด 1,000.

3. วิเคราะห์แบบก่อสร้าง จัดทำแผนการก่อสร้างตามลักษณะของโครงการและสภาพจริง และบรรยายสรุปทางเทคนิค

(2) การผลิตท่อสำเร็จรูป

1. เนื่องจากความสะอาดสูงที่จำเป็นสำหรับท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อลดภาระงานเชื่อมที่สถานที่ติดตั้งและรับประกันความสะอาด การก่อสร้างท่อส่งก๊าซจึงถูกสร้างไว้ล่วงหน้าเป็นครั้งแรกในห้องสำเร็จรูปที่มีระดับ 1,000 เจ้าหน้าที่ก่อสร้างควรสวมเสื้อผ้าที่สะอาด และใช้เครื่องจักรและเครื่องมือควรรักษาให้สะอาด และพนักงานก่อสร้างควรมีความรู้สึกสะอาดอย่างมากเพื่อลดการปนเปื้อนของท่อในระหว่างขั้นตอนการก่อสร้าง

2. การตัดท่อ การตัดท่อใช้เครื่องมือตัดท่อแบบพิเศษ หน้าตัดจะตั้งฉากกับเส้นกึ่งกลางแกนของท่ออย่างแน่นอน เมื่อตัดท่อควรใช้มาตรการเพื่อหลีกเลี่ยงฝุ่นและอากาศภายนอกที่ปนเปื้อนภายในท่อ ควรจัดกลุ่มวัสดุและกำหนดหมายเลขเพื่ออำนวยความสะดวกในการเชื่อมแบบกลุ่ม

3. การเชื่อมท่อ ก่อนการเชื่อมท่อ ควรรวบรวมโปรแกรมการเชื่อมและป้อนเข้าเครื่องเชื่อมอัตโนมัติ ตัวอย่างการเชื่อมทดสอบสามารถเชื่อมได้หลังจากที่ตัวอย่างผ่านการรับรองแล้วเท่านั้น หลังจากการเชื่อมหนึ่งวัน ก็สามารถเชื่อมตัวอย่างได้อีกครั้ง หากตัวอย่างมีคุณสมบัติเหมาะสม พารามิเตอร์การเชื่อมจะยังคงไม่เปลี่ยนแปลง มันถูกเก็บไว้ในเครื่องเชื่อม และเครื่องเชื่อมอัตโนมัติมีความเสถียรมากในระหว่างการเชื่อม ดังนั้นคุณภาพการเชื่อมจึงมีคุณสมบัติเช่นกัน คุณภาพการเชื่อมจะถูกควบคุมโดยไมโครคอมพิวเตอร์ ซึ่งช่วยลดผลกระทบของปัจจัยมนุษย์ที่มีต่อคุณภาพการเชื่อม ปรับปรุงประสิทธิภาพการทำงาน และสร้างรอยเชื่อมคุณภาพสูง

4. กระบวนการเชื่อม

การก่อสร้างท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

(3) การติดตั้งนอกสถานที่

1. การติดตั้งท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในสถานที่ต้องเรียบร้อยและสะอาด และผู้ติดตั้งจะต้องสวมถุงมือที่สะอาด

2. ระยะการตั้งค่าของฉากยึดควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบของภาพวาด และแต่ละจุดคงที่ควรหุ้มด้วยปลอกยางพิเศษสำหรับท่อ EP

3. เมื่อขนส่งท่อสำเร็จรูปไปยังไซต์งานแล้ว จะไม่สามารถชนหรือเหยียบหรือวางลงบนพื้นโดยตรงได้ หลังจากใส่ขายึดแล้ว ท่อก็จะติดทันที

4. ขั้นตอนการเชื่อมท่อ ณ สถานที่จะเหมือนกับขั้นตอนการผลิตเบื้องต้น

5. หลังจากการเชื่อมเสร็จสิ้นและบุคลากรที่เกี่ยวข้องได้ตรวจสอบตัวอย่างรอยเชื่อมและรอยเชื่อมบนท่อเพื่อให้ผ่านการรับรอง ติดฉลากรอยเชื่อม และกรอกบันทึกการเชื่อม

(4) การทดสอบระบบ

1. การทดสอบระบบเป็นขั้นตอนสุดท้ายในการสร้างก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ดำเนินการหลังจากการทดสอบแรงดันท่อและการไล่ล้างเสร็จสิ้น

2. ก๊าซที่ใช้ทดสอบระบบถือเป็นก๊าซที่ผ่านการรับรองเป็นอันดับแรก ความสะอาด ปริมาณออกซิเจน จุดน้ำค้าง และไฮโดรคาร์บอนของก๊าซควรเป็นไปตามข้อกำหนด

3. ตัวบ่งชี้ได้รับการทดสอบโดยการเติมท่อด้วยก๊าซที่ผ่านการรับรองแล้ววัดด้วยเครื่องมือที่ทางออก หากก๊าซที่ถูกเป่าออกจากท่อมีคุณสมบัติครบถ้วน แสดงว่าตัวบ่งชี้ท่อมีคุณสมบัติเหมาะสม

5. วัสดุ

ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยทั่วไปจะใช้ท่อสแตนเลสผนังบางตามความต้องการกระบวนการของตัวกลางหมุนเวียน โดยปกติคือ 316L (00Cr17Ni14Mo2) ธาตุโลหะผสมส่วนใหญ่มีสามองค์ประกอบ ได้แก่ โครเมียม นิกเกิล และโมลิบดีนัม การมีโครเมียมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็กกล้าไร้สนิมในตัวกลางออกซิไดซ์และสร้างชั้นฟิล์มออกไซด์ที่อุดมด้วยโครเมียม ในขณะที่การมีโมลิบดีนัมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของสแตนเลสในตัวกลางที่ไม่ออกซิไดซ์ ความต้านทานการกัดกร่อน นิกเกิลเป็นองค์ประกอบที่ขึ้นรูปของออสเทนไนต์ และการมีอยู่ของพวกมันไม่เพียงช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็ก แต่ยังช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพกระบวนการของเหล็กอีกด้วย