การก่อสร้างท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

ฉัน. บทนำ

ด้วยการพัฒนาประเทศของฉันสารกึ่งตัวนำและอุตสาหกรรมการผลิตแกนกลาง การประยุกต์ใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงกำลังแพร่หลายมากขึ้นเรื่อยๆ อุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กทรอนิกส์ ยา และอาหาร ล้วนใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในระดับที่แตกต่างกัน ดังนั้น การใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในงานก่อสร้างจึงมีความสำคัญต่อเราเพิ่มมากขึ้นเช่นกัน

2. ขอบเขตการใช้งาน

กระบวนการนี้เหมาะสำหรับการติดตั้งและทดสอบท่อส่งก๊าซในโรงงานอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ และการเชื่อมท่อส่งก๊าซสเตนเลสแบบมีผนังบาง นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการก่อสร้างท่อส่งที่สะอาดในโรงงานยา อาหาร และโรงงานอื่นๆ

3. หลักการกระบวนการ

การก่อสร้างโครงการแบ่งออกเป็น 3 ขั้นตอนตามลักษณะของโครงการ โดยแต่ละขั้นตอนจะต้องผ่านการตรวจสอบคุณภาพและความสะอาดอย่างเข้มงวด ขั้นตอนแรกคือการสร้างท่อสำเร็จรูป เพื่อให้แน่ใจว่าเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาด การสร้างท่อสำเร็จรูปโดยทั่วไปจะดำเนินการในห้องสร้างท่อสำเร็จรูประดับ 1,000 ขั้นตอนที่สองคือการติดตั้งในสถานที่ ขั้นตอนที่สามคือการทดสอบระบบ การทดสอบระบบส่วนใหญ่ทดสอบอนุภาคฝุ่น จุดน้ำค้าง ปริมาณออกซิเจน และปริมาณไฮโดรคาร์บอนในท่อ

4. จุดหลักในการก่อสร้าง

(1) การเตรียมพร้อมก่อนการก่อสร้าง

1. จัดระเบียบแรงงานและจัดเตรียมเครื่องจักรและอุปกรณ์ที่ใช้ในการก่อสร้าง

2.สร้างห้องสำเร็จรูปที่มีระดับความสะอาด 1,000

3. วิเคราะห์แบบก่อสร้าง จัดทำแผนการก่อสร้างโดยพิจารณาจากลักษณะโครงการและเงื่อนไขจริง และทำการบรรยายสรุปทางเทคนิค

(2) การผลิตท่อสำเร็จรูป

1. เนื่องจากท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงต้องการความสะอาดสูง เพื่อลดภาระงานเชื่อมที่ไซต์การติดตั้งและเพื่อให้มั่นใจถึงความสะอาด การก่อสร้างท่อจึงต้องทำล่วงหน้าในห้องที่สร้างไว้ล่วงหน้า 1,000 ชั้นก่อน เจ้าหน้าที่ก่อสร้างควรสวมเสื้อผ้าที่สะอาดและใช้เครื่องจักรและเครื่องมือให้สะอาด ส่วนคนงานก่อสร้างควรมีความรู้สึกสะอาดเป็นพิเศษเพื่อลดการปนเปื้อนของท่อระหว่างขั้นตอนการก่อสร้าง

2. การตัดท่อ การตัดท่อใช้เครื่องมือตัดท่อแบบพิเศษ หน้าตัดจะตั้งฉากกับแนวแกนกลางของท่ออย่างแน่นอน เมื่อตัดท่อ ควรใช้มาตรการป้องกันไม่ให้ฝุ่นและอากาศภายนอกปนเปื้อนภายในท่อ ควรจัดกลุ่มวัสดุและกำหนดหมายเลขเพื่อให้เชื่อมเป็นกลุ่มได้ง่าย

3. การเชื่อมท่อ ก่อนการเชื่อมท่อ ควรคอมไพล์โปรแกรมการเชื่อมและป้อนเข้าในเครื่องเชื่อมอัตโนมัติ ตัวอย่างการเชื่อมทดสอบสามารถเชื่อมได้หลังจากตัวอย่างผ่านการตรวจสอบคุณสมบัติแล้วเท่านั้น หลังจากเชื่อมหนึ่งวัน ตัวอย่างสามารถเชื่อมซ้ำได้ หากตัวอย่างผ่านการตรวจสอบคุณสมบัติแล้ว พารามิเตอร์การเชื่อมจะไม่เปลี่ยนแปลง จะถูกเก็บไว้ในเครื่องเชื่อม และเครื่องเชื่อมอัตโนมัติจะเสถียรมากในระหว่างการเชื่อม ดังนั้นคุณภาพการเชื่อมจึงผ่านการตรวจสอบเช่นกัน คุณภาพการเชื่อมควบคุมโดยไมโครคอมพิวเตอร์ ซึ่งช่วยลดผลกระทบจากปัจจัยมนุษย์ต่อคุณภาพการเชื่อม ปรับปรุงประสิทธิภาพการทำงาน และผลิตรอยเชื่อมคุณภาพสูง

4. กระบวนการเชื่อม

การก่อสร้างท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

(3) การติดตั้งในสถานที่

1. การติดตั้งท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูงในสถานที่จะต้องเรียบร้อยและสะอาด และผู้ติดตั้งจะต้องสวมถุงมือที่สะอาด

2. ระยะการตั้งค่าวงเล็บควรเป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบของภาพวาด และจุดคงที่แต่ละจุดควรหุ้มด้วยปลอกยางพิเศษสำหรับท่อ EP

3. เมื่อขนส่งท่อสำเร็จรูปไปยังไซต์งานแล้ว ท่อจะไม่สามารถกระแทกหรือเหยียบได้ และไม่สามารถวางบนพื้นโดยตรงได้ หลังจากใส่ตัวยึดแล้ว ท่อจะยึดติดทันที

4. ขั้นตอนการเชื่อมท่อในสถานที่นั้นเหมือนกับขั้นตอนการเตรียมการผลิตล่วงหน้า

5. หลังจากเชื่อมเสร็จสิ้นและบุคลากรที่เกี่ยวข้องได้ตรวจสอบตัวอย่างรอยเชื่อมและรอยเชื่อมบนท่อที่ต้องการรับรองคุณสมบัติแล้ว ให้ติดฉลากรอยเชื่อมและกรอกบันทึกการเชื่อม

(4) การทดสอบระบบ

1. การทดสอบระบบเป็นขั้นตอนสุดท้ายในการสร้างก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยจะดำเนินการหลังจากการทดสอบแรงดันท่อและการล้างเสร็จสิ้นแล้ว

2. ก๊าซที่ใช้ในการทดสอบระบบจะต้องเป็นก๊าซที่มีคุณสมบัติเหมาะสมเป็นอันดับแรก ความสะอาด ปริมาณออกซิเจน จุดน้ำค้าง และไฮโดรคาร์บอนของก๊าซจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนด

3. ทดสอบตัวบ่งชี้โดยเติมก๊าซที่มีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนดลงในท่อและวัดด้วยเครื่องมือที่ทางออก หากก๊าซที่พ่นออกจากท่อมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนด แสดงว่าตัวบ่งชี้ท่อมีคุณสมบัติตรงตามข้อกำหนด

5. วัสดุ

ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยทั่วไปจะใช้ท่อเหล็กกล้าไร้สนิมผนังบางตามข้อกำหนดของกระบวนการของสื่อหมุนเวียน โดยทั่วไปคือ 316L (00Cr17Ni14Mo2) มีองค์ประกอบโลหะผสมหลักสามอย่าง ได้แก่ โครเมียม นิกเกิล และโมลิบดีนัม การมีโครเมียมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็กกล้าไร้สนิมในสื่อออกซิไดซ์และสร้างชั้นของฟิล์มออกไซด์ที่มีโครเมียมสูง ในขณะที่การมีโมลิบดีนัมช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็กกล้าไร้สนิมในสื่อที่ไม่เกิดออกซิเดชัน ความต้านทานการกัดกร่อน นิกเกิลเป็นองค์ประกอบในการก่อตัวของออสเทไนต์ และการมีอยู่ของนิกเกิลไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อนของเหล็กเท่านั้น แต่ยังช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพกระบวนการของเหล็กอีกด้วย