page_banner

ข่าว

ระบบจำหน่ายก๊าซ

1. คำจำกัดความของระบบแก๊สเทกอง:

การจัดเก็บและการควบคุมแรงดันของก๊าซเฉื่อย ประเภทของก๊าซ: ก๊าซเฉื่อยทั่วไป (ไนโตรเจน อาร์กอน อากาศอัด ฯลฯ)

ขนาดท่อ: ตั้งแต่ 1/4 (ท่อตรวจสอบ) ถึงไปป์ไลน์หลัก 12 นิ้ว

ผลิตภัณฑ์หลักของระบบได้แก่: วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วสูบลม/บอลวาล์ว, คอนเนคเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูง (VCR, แบบเชื่อม), คอนเนคเตอร์แบบปลอกโลหะ, วาล์วควบคุมความดัน, เกจวัดความดัน ฯลฯ

ปัจจุบัน ระบบใหม่นี้ยังรวมถึงระบบก๊าซพิเศษแบบเทกอง ซึ่งใช้ถังแก๊สแบบคงที่หรือรถบรรทุกถังในการจัดเก็บและขนส่ง

2. คำจำกัดความของระบบการทำให้บริสุทธิ์:

การกำจัดสิ่งเจือปนออกจากก๊าซจำนวนมากสำหรับท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

3. คำจำกัดความของตู้แก๊ส:

ให้การควบคุมแรงดันและการตรวจสอบการไหลของแหล่งก๊าซพิเศษ (ก๊าซพิษ ไวไฟ ปฏิกิริยา มีฤทธิ์กัดกร่อน) และมีความสามารถในการเปลี่ยนถังแก๊ส

ที่ตั้ง: ตั้งอยู่บนชั้น Sub-fab หรือชั้นล่างสุดสำหรับจัดเก็บก๊าซพิเศษ แหล่งที่มา: NF3, SF6, WF6 เป็นต้น

ขนาดท่อ: ท่อส่งก๊าซภายใน โดยทั่วไป 1/4 นิ้วสำหรับท่อกระบวนการ 1/4-3/8 นิ้วส่วนใหญ่สำหรับท่อกำจัดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง

ผลิตภัณฑ์หลัก: วาล์วไดอะแฟรมความบริสุทธิ์สูง เช็ควาล์ว เกจวัดความดัน เกจวัดความดัน ตัวเชื่อมต่อที่มีความบริสุทธิ์สูง (VCR แบบเชื่อม) ตู้แก๊สเหล่านี้โดยทั่วไปมีความสามารถในการสลับอัตโนมัติสำหรับกระบอกสูบเพื่อให้แน่ใจว่ามีการจ่ายก๊าซอย่างต่อเนื่องและการเปลี่ยนกระบอกสูบอย่างปลอดภัย

ระบบจ่ายแก๊ส1

4. คำจำกัดความการจำหน่าย:

การเชื่อมต่อแหล่งจ่ายก๊าซเข้ากับคอยล์รวบรวมก๊าซ

ขนาดเส้น: ในโรงงานชิป ขนาดของท่อส่งก๊าซโดยทั่วไปอยู่ในช่วงตั้งแต่ 1/2 นิ้วถึง 2 นิ้ว

รูปแบบการเชื่อมต่อ: โดยทั่วไปแล้วท่อส่งก๊าซพิเศษจะเชื่อมต่อกันด้วยการเชื่อม โดยไม่มีการเชื่อมต่อทางกลหรือชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวอื่น ๆ เนื่องจากการเชื่อมต่อการเชื่อมมีความน่าเชื่อถือในการปิดผนึกที่แข็งแกร่ง

ในโรงงานชิปแห่งหนึ่ง มีท่อเชื่อมต่อยาวหลายร้อยกิโลเมตรเพื่อส่งก๊าซ ซึ่งโดยทั่วไปจะมีความยาวประมาณ 20 ฟุตและเชื่อมเข้าด้วยกัน การโค้งงอของท่อและการเชื่อมต่อแบบท่อบางอย่างก็เป็นเรื่องปกติเช่นกัน

5. กล่องวาล์วมัลติฟังก์ชั่น (Valve Manifold Box, VMB) คำจำกัดความ:

เป็นการกระจายก๊าซพิเศษจากแหล่งก๊าซไปยังปลายอุปกรณ์ต่างๆ

ขนาดไปป์ไลน์ภายใน: ไปป์ไลน์กระบวนการ 1/4 นิ้ว และไปป์ไลน์กำจัดขนาด 1/4 - 3/8 นิ้ว ระบบอาจใช้การควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์เพื่อต้องการวาล์วกระตุ้นหรือลดต้นทุนด้วยวาล์วแบบแมนนวล

ผลิตภัณฑ์ของระบบ: วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วเบลโลว์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เช็ควาล์ว ข้อต่อที่มีความบริสุทธิ์สูง (VCR รูปแบบการเชื่อมแบบไมโคร) วาล์วควบคุมแรงดัน เกจวัดแรงดัน และเกจวัดแรงดัน ฯลฯ สำหรับการกระจายก๊าซเฉื่อยบางชนิด แผงท่อร่วมวาล์วสำหรับการกระจายก๊าซเฉื่อยบางชนิด - ส่วนใหญ่จะใช้ VMP (จานวาล์วมัลติฟังก์ชั่น) ซึ่งมีพื้นผิวจานก๊าซแบบเปิด และไม่ต้องการการออกแบบพื้นที่ปิดและการไล่ไนโตรเจนเพิ่มเติม

ระบบจ่ายแก๊ส2

6. แผ่นวาล์วรอง/กล่อง (แผงเชื่อมต่อเครื่องมือ) คำจำกัดความ:

เชื่อมต่อก๊าซที่ต้องการโดยอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จากแหล่งก๊าซไปยังปลายอุปกรณ์ และจัดเตรียมการควบคุมแรงดันที่สอดคล้องกัน แผงนี้เป็นระบบควบคุมแก๊สที่อยู่ใกล้กับปลายอุปกรณ์มากกว่า VMB (กล่องวาล์วมัลติฟังก์ชั่น) 

ขนาดท่อส่งก๊าซ: 1/4 - 3/8 นิ้ว 

ขนาดท่อส่งของเหลว: 1/2 - 1 นิ้ว 

ขนาดท่อระบาย: 1/2 - 1 นิ้ว 

ผลิตภัณฑ์หลัก: วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วสูบลม, วาล์วทางเดียว, วาล์วควบคุมความดัน, เกจวัดความดัน, เกจวัดความดัน, ข้อต่อที่มีความบริสุทธิ์สูง (VCR, การเชื่อมแบบไมโคร), ข้อต่อปลอกโลหะ, บอลวาล์ว, ท่อ ฯลฯ


เวลาโพสต์: 22 พ.ย.-2024