ระบบจ่ายก๊าซ

1. คำจำกัดความของระบบก๊าซจำนวนมาก:

การเก็บและควบคุมความดันของก๊าซเฉื่อย ชนิดของก๊าซ: ก๊าซเฉื่อยทั่วไป (ไนโตรเจน อาร์กอน อากาศอัด ฯลฯ)

ขนาดท่อ: ตั้งแต่ 1/4 (ท่อตรวจสอบ) ถึงท่อหลักขนาด 12 นิ้ว

ผลิตภัณฑ์หลักของระบบ ได้แก่: วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วลูกฟูก/วาล์วลูกบอล, ขั้วต่อความบริสุทธิ์สูง (VCR, แบบเชื่อม), ขั้วต่อปลอกหุ้ม, วาล์วควบคุมความดัน, มาตรวัดความดัน ฯลฯ

ปัจจุบันระบบใหม่นี้ยังรวมถึงระบบแก๊สพิเศษจำนวนมาก ซึ่งใช้ถังแก๊สที่ติดตั้งถาวรหรือรถบรรทุกถังสำหรับการจัดเก็บและขนส่ง

2. คำจำกัดความของระบบการฟอกอากาศ:

การกำจัดสิ่งเจือปนจากก๊าซจำนวนมากสำหรับท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

3. คำจำกัดความของตู้แก๊ส:

จัดให้มีการควบคุมแรงดันและการตรวจติดตามการไหลสำหรับแหล่งก๊าซพิเศษ (ก๊าซพิษ ก๊าซไวไฟ ก๊าซที่มีปฏิกิริยา ก๊าซกัดกร่อน) และมีความสามารถในการเปลี่ยนถังก๊าซได้

สถานที่ : ตั้งอยู่ในชั้น Sub-fab หรือชั้นล่างสำหรับจัดเก็บก๊าซพิเศษ แหล่งที่มา : NF3, SF6, WF6 ฯลฯ

ขนาดท่อ: ท่อส่งก๊าซภายใน โดยทั่วไปขนาด 1/4 นิ้วสำหรับท่อส่งกระบวนการ และ 1/4-3/8 นิ้ว ส่วนใหญ่ใช้สำหรับท่อส่งไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง

ผลิตภัณฑ์หลัก: วาล์วไดอะแฟรมความบริสุทธิ์สูง วาล์วตรวจสอบ มาตรวัดแรงดัน มาตรวัดแรงดัน ตัวเชื่อมต่อความบริสุทธิ์สูง (VCR แบบเชื่อม) ตู้เก็บแก๊สเหล่านี้โดยทั่วไปประกอบด้วยความสามารถในการสลับอัตโนมัติสำหรับถังเพื่อให้แน่ใจว่ามีการจ่ายแก๊สอย่างต่อเนื่องและการเปลี่ยนถังอย่างปลอดภัย