แบนเนอร์หน้า

ข่าว

ระบบจ่ายก๊าซ

1. คำจำกัดความของระบบก๊าซปริมาณมาก:

การจัดเก็บและการควบคุมความดันของก๊าซเฉื่อย ประเภทของก๊าซ: ก๊าซเฉื่อยทั่วไป (ไนโตรเจน อาร์กอน อากาศอัด ฯลฯ)

ขนาดท่อ: ตั้งแต่ 1/4 นิ้ว (ท่อตรวจสอบ) จนถึงท่อหลักขนาด 12 นิ้ว

ผลิตภัณฑ์หลักของระบบได้แก่ วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วเบลโลว์/วาล์วบอล, คอนเนคเตอร์ความบริสุทธิ์สูง (VCR, แบบเชื่อม), คอนเนคเตอร์เฟอร์รูล, วาล์วควบคุมแรงดัน, เกจวัดแรงดัน เป็นต้น

ปัจจุบัน ระบบใหม่นี้ยังรวมถึงระบบก๊าซพิเศษแบบบรรจุถังขนาดใหญ่ ซึ่งใช้ถังก๊าซแบบติดตั้งถาวรหรือรถบรรทุกถังสำหรับจัดเก็บและขนส่ง

2. คำจำกัดความของระบบการทำให้บริสุทธิ์:

การกำจัดสิ่งเจือปนออกจากก๊าซปริมาณมากสำหรับท่อส่งก๊าซบริสุทธิ์สูง

3. คำจำกัดความของตู้แก๊ส:

สามารถควบคุมแรงดันและตรวจสอบการไหลของก๊าซชนิดพิเศษ (ก๊าซพิษ ก๊าซไวไฟ ก๊าซที่ทำปฏิกิริยาได้ ก๊าซกัดกร่อน) และมีความสามารถในการเปลี่ยนถังก๊าซได้

สถานที่ตั้ง: อยู่บนชั้นย่อยของโรงงานหรือชั้นล่างสุดสำหรับจัดเก็บก๊าซพิเศษ แหล่งที่มา: NF3, SF6, WF6 เป็นต้น

ขนาดท่อ: ท่อส่งก๊าซภายในอาคาร โดยทั่วไปขนาด 1/4 นิ้วสำหรับท่อส่งก๊าซในกระบวนการผลิต และขนาด 1/4-3/8 นิ้วสำหรับท่อส่งไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง

ผลิตภัณฑ์หลัก: วาล์วไดอะแฟรมความบริสุทธิ์สูง, วาล์วกันกลับ, เกจวัดความดัน, ตัวเชื่อมต่อความบริสุทธิ์สูง (VCR, แบบเชื่อม) ตู้แก๊สเหล่านี้โดยพื้นฐานแล้วมีระบบสลับถังแก๊สอัตโนมัติเพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีการจ่ายแก๊สอย่างต่อเนื่องและการเปลี่ยนถังแก๊สอย่างปลอดภัย

ระบบจ่ายก๊าซ1

4. คำจำกัดความของการกระจายตัว:

การเชื่อมต่อแหล่งจ่ายก๊าซเข้ากับขดลวดเก็บก๊าซ

ขนาดท่อ: ในโรงงานผลิตชิป ขนาดของท่อส่งก๊าซขนาดใหญ่โดยทั่วไปจะอยู่ระหว่าง 1/2 นิ้ว ถึง 2 นิ้ว

รูปแบบการเชื่อมต่อ: โดยทั่วไปแล้ว ท่อส่งก๊าซพิเศษจะเชื่อมต่อกันด้วยการเชื่อม โดยไม่มีการเชื่อมต่อทางกลหรือชิ้นส่วนเคลื่อนที่อื่นใด เนื่องจากวิธีการเชื่อมต่อด้วยการเชื่อมมีความน่าเชื่อถือในการปิดผนึกสูง

ในโรงงานผลิตชิป มีท่อส่งก๊าซยาวหลายร้อยกิโลเมตรเชื่อมต่อกัน โดยท่อแต่ละเส้นมีความยาวประมาณ 20 ฟุต และเชื่อมต่อกัน การดัดงอท่อและการเชื่อมต่อท่อก็พบเห็นได้ทั่วไปเช่นกัน

5. กล่องวาล์วอเนกประสงค์ (กล่องวาล์วรวม, VMB) คำจำกัดความ:

มีวัตถุประสงค์เพื่อกระจายก๊าซชนิดพิเศษจากแหล่งก๊าซไปยังอุปกรณ์ต่างๆ ปลายทาง

ขนาดท่อภายใน: ท่อส่งกระบวนการขนาด 1/4 นิ้ว และท่อไล่ก๊าซขนาด 1/4 - 3/8 นิ้ว ระบบอาจใช้การควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์เพื่อกำหนดความจำเป็นในการใช้ลิ้นวาล์วแบบอัตโนมัติ หรืออาจใช้ลิ้นวาล์วแบบแมนนวลเพื่อลดต้นทุนในกรณีที่จำเป็น

ผลิตภัณฑ์ของระบบ ได้แก่ วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วเบลโลว์ความบริสุทธิ์สูง วาล์วกันกลับ ข้อต่อความบริสุทธิ์สูง (VCR, รูปแบบการเชื่อมขนาดเล็ก) วาล์วควบคุมแรงดัน เกจวัดแรงดัน และมาตรวัดแรงดัน เป็นต้น สำหรับการจ่ายก๊าซเฉื่อยบางชนิด ส่วนใหญ่จะใช้แผงวาล์วแบบหลายฟังก์ชัน (VMP) ซึ่งมีพื้นผิวแผ่นดิสก์ก๊าซแบบเปิด และไม่จำเป็นต้องออกแบบพื้นที่ปิดและไม่ต้องไล่ก๊าซไนโตรเจนเพิ่มเติม

ระบบจ่ายก๊าซ2

6. แผ่น/กล่องวาล์วรอง (แผงเชื่อมต่อเครื่องมือ) คำจำกัดความ:

เชื่อมต่อก๊าซที่จำเป็นสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์จากแหล่งจ่ายก๊าซไปยังปลายอุปกรณ์ และควบคุมแรงดันให้เหมาะสม แผงควบคุมนี้เป็นระบบควบคุมก๊าซที่อยู่ใกล้กับปลายอุปกรณ์มากกว่ากล่องวาล์วอเนกประสงค์ (VMB) 

ขนาดท่อส่งก๊าซ: 1/4 - 3/8 นิ้ว 

ขนาดท่อส่งของเหลว: 1/2 - 1 นิ้ว 

ขนาดท่อระบาย: 1/2 - 1 นิ้ว 

ผลิตภัณฑ์หลัก: วาล์วไดอะแฟรม/วาล์วเบลโลว์, วาล์วทางเดียว, วาล์วควบคุมแรงดัน, เกจวัดแรงดัน, ข้อต่อความบริสุทธิ์สูง (VCR, การเชื่อมขนาดเล็ก), ข้อต่อเฟอร์รูล, วาล์วบอล, สายยาง ฯลฯ


วันที่โพสต์: 22 พฤศจิกายน 2024