การประยุกต์ใช้ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในระบบวิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์

โรงงานวงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษโครงการ 909 เป็นโครงการก่อสร้างหลักของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ของประเทศในระหว่างแผนพัฒนาเศรษฐกิจและสังคมแห่งชาติฉบับที่ 9 เพื่อผลิตชิปที่มีความกว้างเส้น 0.18 ไมครอนและเส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มิลลิเมตร

เทคโนโลยีการผลิตวงจรรวมขนาดใหญ่ไม่เพียงแต่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีที่มีความแม่นยำสูง เช่น การกลึงระดับไมโครเท่านั้น แต่ยังมีข้อกำหนดสูงต่อความบริสุทธิ์ของก๊าซอีกด้วย
การจัดหาก๊าซจำนวนมากสำหรับโครงการ 909 นั้นจัดทำโดยบริษัทร่วมทุนระหว่าง Praxair Utility Gas Co., Ltd. ของสหรัฐอเมริกาและฝ่ายที่เกี่ยวข้องในเซี่ยงไฮ้เพื่อร่วมกันจัดตั้งโรงงานผลิตก๊าซ โรงงานผลิตก๊าซตั้งอยู่ติดกับอาคารโรงงานโครงการ 909 ครอบคลุมพื้นที่ประมาณ 15,000 ตารางเมตร ข้อกำหนดความบริสุทธิ์และผลผลิตของก๊าซต่างๆ

ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PN2) ไนโตรเจน (N2) และออกซิเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PO2) ผลิตขึ้นโดยการแยกอากาศ ไฮโดรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PH2) ผลิตขึ้นโดยอิเล็กโทรไลซิส อาร์กอน (Ar) และฮีเลียม (He) จัดซื้อจากแหล่งภายนอก ก๊าซกึ่งจะถูกทำให้บริสุทธิ์และกรองเพื่อใช้ในโครงการ 909 ก๊าซพิเศษจะบรรจุในขวด และตู้บรรจุก๊าซจะตั้งอยู่ในเวิร์กช็อปเสริมของโรงงานผลิตวงจรรวม
ก๊าซอื่นๆ ยังรวมถึงระบบ CDA ของอากาศอัดแห้งที่สะอาด โดยมีปริมาณการใช้งาน 4185m3/ชม. จุดน้ำค้างความดัน -70°C และขนาดอนุภาคไม่เกิน 0.01um ในก๊าซที่จุดใช้งาน ระบบอากาศอัดสำหรับหายใจ (BA) ปริมาณการใช้งาน 90m3/ชม. จุดน้ำค้างความดัน 2℃ ขนาดอนุภาคในก๊าซที่จุดใช้งานไม่เกิน 0.3um ระบบสูญญากาศกระบวนการ (PV) ปริมาณการใช้งาน 582m3/ชม. ระดับสูญญากาศที่จุดใช้งาน -79993Pa ระบบสูญญากาศทำความสะอาด (HV) ปริมาณการใช้งาน 1440m3/ชม. ระดับสูญญากาศที่จุดใช้งาน -59995 Pa ห้องคอมเพรสเซอร์อากาศและห้องปั๊มสูญญากาศตั้งอยู่ในพื้นที่โรงงานโครงการ 909

การเลือกใช้วัสดุท่อและอุปกรณ์
ก๊าซที่ใช้ในการผลิต VLSI มีข้อกำหนดด้านความสะอาดที่สูงมากท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงมักใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด และการควบคุมความสะอาดควรสอดคล้องหรือสูงกว่าระดับความสะอาดของพื้นที่ที่ใช้ นอกจากนี้ ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงมักใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด ไฮโดรเจนบริสุทธิ์ (PH2) ออกซิเจนบริสุทธิ์สูง (PO2) และก๊าซพิเศษบางชนิดเป็นก๊าซไวไฟ ระเบิดได้ ก่อให้เกิดการเผาไหม้ หรือเป็นพิษ หากออกแบบระบบท่อส่งก๊าซไม่ถูกต้องหรือเลือกวัสดุไม่ถูกต้อง ไม่เพียงแต่ความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ใช้ที่จุดก๊าซจะลดลงเท่านั้น แต่ยังล้มเหลวอีกด้วย ตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการ แต่ไม่ปลอดภัยต่อการใช้งานและจะก่อให้เกิดมลพิษต่อโรงงานที่สะอาด ส่งผลต่อความปลอดภัยและความสะอาดของโรงงานที่สะอาด
การรับประกันคุณภาพก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ณ จุดใช้งานนั้นไม่เพียงแต่ขึ้นอยู่กับความแม่นยำของการผลิตก๊าซ อุปกรณ์ฟอกและตัวกรองเท่านั้น แต่ยังได้รับผลกระทบในระดับสูงจากปัจจัยหลายประการในระบบท่อส่งอีกด้วย หากเราพึ่งพาอุปกรณ์ผลิตก๊าซ อุปกรณ์ฟอกและตัวกรอง การกำหนดข้อกำหนดความแม่นยำที่สูงอย่างไม่สิ้นสุดเพื่อชดเชยการออกแบบระบบท่อส่งก๊าซหรือการเลือกวัสดุที่ไม่เหมาะสมนั้นไม่ถูกต้องอย่างยิ่ง
ในระหว่างขั้นตอนการออกแบบโครงการ 909 เราปฏิบัติตาม “มาตรฐานการออกแบบโรงงานที่สะอาด” GBJ73-84 (มาตรฐานปัจจุบันคือ (GB50073-2001)) “มาตรฐานการออกแบบสถานีอัดอากาศ” GBJ29-90 “มาตรฐานการออกแบบสถานีออกซิเจน” GB50030-91 “มาตรฐานการออกแบบสถานีไฮโดรเจนและออกซิเจน” GB50177-93 และมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้องสำหรับการเลือกวัสดุท่อและอุปกรณ์เสริม “มาตรฐานการออกแบบโรงงานที่สะอาด” กำหนดการเลือกวัสดุท่อและวาล์วดังนี้:

(1) หากความบริสุทธิ์ของก๊าซมากกว่าหรือเท่ากับ 99.999% และจุดน้ำค้างต่ำกว่า -76°C ควรใช้ท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า หรือท่อเหล็กกล้าไร้สนิม OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า วาล์วควรเป็นวาล์วไดอะแฟรมหรือวาล์วแบบหีบเพลง

(2) หากความบริสุทธิ์ของก๊าซมากกว่าหรือเท่ากับ 99.99% และจุดน้ำค้างต่ำกว่า -60°C ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า ยกเว้นวาล์วแบบลูกฟูกที่ควรใช้กับท่อส่งก๊าซติดไฟ ควรใช้บอลวาล์วกับท่อส่งก๊าซอื่นๆ

(3) หากจุดน้ำค้างของอากาศอัดแห้งต่ำกว่า -70°C ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงา หากจุดน้ำค้างต่ำกว่า -40℃ ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) หรือท่อเหล็กไร้รอยต่อชุบสังกะสีแบบจุ่มร้อน วาล์วควรเป็นวาล์วแบบลูกฟูกหรือวาล์วแบบลูกบอล

(4) วัสดุวาล์วควรเข้ากันได้กับวัสดุท่อเชื่อมต่อ

ตามข้อกำหนดของข้อกำหนดและมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้อง เราจะพิจารณาประเด็นต่อไปนี้เป็นหลักเมื่อเลือกวัสดุท่อ:

(1) ความสามารถในการซึมผ่านของอากาศของวัสดุท่อควรมีขนาดเล็ก ท่อที่ทำจากวัสดุต่างกันจะมีความสามารถในการซึมผ่านของอากาศต่างกัน หากเลือกท่อที่มีความสามารถในการซึมผ่านของอากาศสูงกว่า ก็ไม่สามารถขจัดมลพิษได้ ท่อสเตนเลสและท่อทองแดงมีประสิทธิภาพในการป้องกันการแทรกซึมและการกัดกร่อนของออกซิเจนในบรรยากาศได้ดีกว่า อย่างไรก็ตาม เนื่องจากท่อสเตนเลสมีการทำงานน้อยกว่าท่อทองแดง ท่อทองแดงจึงมีประสิทธิภาพในการให้ความชื้นในบรรยากาศแทรกซึมเข้าสู่พื้นผิวด้านในได้ดีกว่า ดังนั้น เมื่อเลือกท่อสำหรับท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ท่อสเตนเลสจึงควรเป็นตัวเลือกแรก

(2) พื้นผิวด้านในของวัสดุท่อถูกดูดซับและมีผลเล็กน้อยต่อการวิเคราะห์ก๊าซ หลังจากประมวลผลท่อสแตนเลสแล้ว ก๊าซจำนวนหนึ่งจะถูกกักเก็บไว้ในโครงตาข่ายโลหะ เมื่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงผ่านเข้าไป ส่วนหนึ่งของก๊าซนี้จะเข้าสู่กระแสอากาศและก่อให้เกิดมลพิษ ในเวลาเดียวกัน เนื่องจากการดูดซับและการวิเคราะห์ โลหะบนพื้นผิวด้านในของท่อจะผลิตผงจำนวนหนึ่งด้วย ทำให้เกิดมลพิษต่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง สำหรับระบบท่อที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.999% หรือระดับ ppb ควรใช้ท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L)

(3) ความต้านทานการสึกหรอของท่อเหล็กกล้าไร้สนิมดีกว่าท่อทองแดง และฝุ่นโลหะที่เกิดจากการกัดกร่อนของกระแสอากาศก็น้อยกว่า โรงงานผลิตที่มีข้อกำหนดด้านความสะอาดสูงกว่าสามารถใช้ท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) หรือท่อเหล็กกล้าไร้สนิม OCr18Ni9 (304) ได้ แต่ไม่ควรใช้งานท่อทองแดง

(4) สำหรับระบบท่อที่มีความบริสุทธิ์ของก๊าซสูงกว่า 99.999% หรือระดับ ppb หรือ ppt หรือในห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดของอากาศ N1-N6 ที่ระบุไว้ใน “Clean Factory Design Code” ท่อที่สะอาดเป็นพิเศษหรือท่อสะอาดพิเศษ EPควรใช้ให้สะอาด “หลอดสะอาด มีผิวด้านในเรียบลื่นเป็นพิเศษ”

(5) ระบบท่อส่งก๊าซพิเศษบางระบบที่ใช้ในกระบวนการผลิตเป็นก๊าซที่กัดกร่อนสูง ท่อในระบบท่อเหล่านี้จะต้องใช้ท่อสเตนเลสที่ทนต่อการกัดกร่อนเป็นท่อ มิฉะนั้น ท่อจะได้รับความเสียหายเนื่องจากการกัดกร่อน หากเกิดจุดกัดกร่อนบนพื้นผิว ห้ามใช้ท่อเหล็กไร้ตะเข็บธรรมดาหรือท่อเหล็กเชื่อมสังกะสี

(6) ตามหลักการแล้ว การเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซทั้งหมดควรเชื่อม เนื่องจากการเชื่อมท่อเหล็กอาบสังกะสีจะทำลายชั้นอาบสังกะสี ท่อเหล็กอาบสังกะสีจึงไม่ถูกใช้สำหรับท่อในห้องสะอาด

โดยพิจารณาจากปัจจัยข้างต้น ท่อส่งก๊าซและวาล์วที่เลือกในโครงการ &7& มีดังนี้:

ท่อระบบไนโตรเจนบริสุทธิ์สูง (PN2) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบไนโตรเจน (N2) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบไฮโดรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PH2) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบออกซิเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PO2) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบอาร์กอน (Ar) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และใช้วาล์วหีบเพลงเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบฮีเลียม (He) ทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบอากาศอัดแห้งสะอาด (CDA) ทำจากท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงา และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกสแตนเลสที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบอากาศอัดสำหรับหายใจ (BA) ทำจากท่อสแตนเลสสตีล OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงา และวาล์วทำจากลูกบอลวาล์วสแตนเลสสตีลที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบสูญญากาศกระบวนการ (PV) ทำจากท่อ UPVC และวาล์วทำจากวาล์วผีเสื้อสูญญากาศที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อระบบดูดทำความสะอาด (HV) ทำจากท่อ UPVC และวาล์วทำจากวาล์วผีเสื้อดูดสูญญากาศที่ทำจากวัสดุเดียวกัน
ท่อของระบบแก๊สพิเศษทั้งหมดทำจากท่อเหล็กกล้าไร้สนิมคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำด้วยวาล์วลูกฟูกเหล็กกล้าไร้สนิมที่ทำจากวัสดุเดียวกัน

3. การก่อสร้างและติดตั้งท่อ
3.1 มาตรา 8.3 ของ “ประมวลกฎหมายการออกแบบอาคารโรงงานสะอาด” กำหนดบทบัญญัติเกี่ยวกับการเชื่อมต่อท่อดังต่อไปนี้:
(1) การเชื่อมต่อท่อควรเชื่อม แต่ท่อเหล็กอาบสังกะสีแบบจุ่มร้อนควรมีเกลียว วัสดุปิดผนึกของการเชื่อมต่อแบบเกลียวจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของข้อ 8.3.3 ของข้อกำหนดนี้
(2) ท่อสแตนเลสควรเชื่อมต่อด้วยการเชื่อมอาร์กอนและการเชื่อมแบบชนหรือการเชื่อมแบบซ็อกเก็ต แต่ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงควรเชื่อมต่อด้วยการเชื่อมแบบชนโดยไม่มีรอยบนผนังด้านใน
(3) การเชื่อมต่อระหว่างท่อและอุปกรณ์ควรเป็นไปตามข้อกำหนดการเชื่อมต่อของอุปกรณ์ เมื่อใช้การเชื่อมต่อท่อ ควรใช้ท่อโลหะ
(4) การเชื่อมต่อระหว่างท่อและวาล์วต้องเป็นไปตามข้อบังคับต่อไปนี้

① วัสดุปิดผนึกที่เชื่อมต่อท่อส่งก๊าซและวาล์วที่มีความบริสุทธิ์สูง ควรใช้ปะเก็นโลหะหรือปลอกโลหะคู่ตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตและคุณลักษณะของก๊าซ
② วัสดุปิดผนึกที่จุดเชื่อมต่อแบบเกลียวหรือหน้าแปลนควรเป็นโพลีเตตระฟลูออโรเอทิลีน
3.2 ตามข้อกำหนดของข้อกำหนดและมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้อง การเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงควรเชื่อมให้มากที่สุด ควรหลีกเลี่ยงการเชื่อมแบบชนโดยตรงระหว่างการเชื่อม ควรใช้ปลอกท่อหรือข้อต่อสำเร็จรูป ปลอกท่อควรทำจากวัสดุเดียวกันและมีความเรียบของพื้นผิวด้านในเช่นเดียวกับท่อ ระดับระหว่างการเชื่อม เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันของส่วนเชื่อม ควรใส่ก๊าซป้องกันบริสุทธิ์ลงในท่อเชื่อม สำหรับท่อสแตนเลส ควรใช้การเชื่อมด้วยอาร์กอาร์กอน และควรใส่ก๊าซอาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์เท่ากันลงในท่อ ต้องใช้การเชื่อมต่อแบบเกลียวหรือการเชื่อมต่อแบบเกลียว เมื่อเชื่อมต่อหน้าแปลน ควรใช้ปลอกหุ้มสำหรับการเชื่อมต่อแบบเกลียว ยกเว้นท่อออกซิเจนและท่อไฮโดรเจน ซึ่งควรใช้ปะเก็นโลหะ ท่ออื่นๆ ควรใช้ปะเก็นโพลีเตตระฟลูออโรเอทิลีน การใช้ซิลิโคนยางปริมาณเล็กน้อยกับปะเก็นก็จะมีประสิทธิภาพเช่นกัน เพิ่มประสิทธิภาพการปิดผนึก ควรใช้มาตรการที่คล้ายกันเมื่อทำการเชื่อมต่อหน้าแปลน
ก่อนเริ่มงานติดตั้ง ควรตรวจสอบท่ออย่างละเอียดอุปกรณ์ประกอบ, วาล์ว ฯลฯ จะต้องดำเนินการ ผนังด้านในของท่อสแตนเลสธรรมดาควรดองก่อนการติดตั้ง ท่อ ข้อต่อ วาล์ว ฯลฯ ของท่อออกซิเจนควรห้ามไม่ให้มีน้ำมันโดยเด็ดขาดและควรขจัดไขมันอย่างเคร่งครัดตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องก่อนการติดตั้ง
ก่อนที่จะติดตั้งระบบและใช้งาน ควรทำการไล่ระบบท่อส่งและจ่ายน้ำมันออกให้หมดด้วยก๊าซบริสุทธิ์ที่ส่งมา วิธีนี้ไม่เพียงแต่จะเป่าเอาฝุ่นละอองที่ตกลงมาในระบบโดยไม่ได้ตั้งใจระหว่างขั้นตอนการติดตั้งออกไปเท่านั้น แต่ยังช่วยทำให้ระบบท่อแห้งอีกด้วย โดยจะกำจัดก๊าซที่มีความชื้นบางส่วนที่ดูดซับโดยผนังท่อและแม้แต่วัสดุของท่อออกไปด้วย

4. การทดสอบและการยอมรับแรงดันท่อ
(1) หลังจากติดตั้งระบบแล้ว จะต้องดำเนินการตรวจสอบด้วยรังสีเอกซ์ 100% ของท่อที่ขนส่งของเหลวที่มีพิษร้ายแรงในท่อส่งก๊าซพิเศษ และคุณภาพของท่อจะต้องไม่ต่ำกว่าระดับ II ท่ออื่นๆ จะต้องได้รับการตรวจสอบด้วยรังสีเอกซ์แบบสุ่มตัวอย่าง และอัตราการสุ่มตัวอย่างจะต้องไม่น้อยกว่า 5% และคุณภาพจะต้องไม่ต่ำกว่าระดับ III
(2) หลังจากผ่านการตรวจสอบแบบไม่ทำลายแล้ว ควรทำการทดสอบแรงดัน เพื่อให้แน่ใจว่าระบบท่อแห้งและสะอาด ไม่ควรทดสอบแรงดันไฮดรอลิก แต่ควรใช้การทดสอบแรงดันลม การทดสอบแรงดันอากาศควรทำโดยใช้ไนโตรเจนหรืออากาศอัดที่ตรงกับระดับความสะอาดของห้องสะอาด แรงดันทดสอบของท่อควรเป็น 1.15 เท่าของแรงดันออกแบบ และแรงดันทดสอบของท่อสุญญากาศควรเป็น 0.2MPa ในระหว่างการทดสอบ ควรค่อยๆ เพิ่มแรงดันขึ้นอย่างช้าๆ เมื่อแรงดันเพิ่มขึ้นถึง 50% ของแรงดันทดสอบ หากไม่พบสิ่งผิดปกติหรือการรั่วไหล ให้เพิ่มแรงดันต่อไปทีละขั้นทีละ 10% ของแรงดันทดสอบ และรักษาแรงดันให้คงที่เป็นเวลา 3 นาทีในแต่ละระดับจนกว่าแรงดันทดสอบจะคงที่ รักษาแรงดันให้คงที่เป็นเวลา 10 นาที จากนั้นลดแรงดันลงเหลือแรงดันออกแบบ ควรกำหนดเวลาหยุดแรงดันตามความต้องการในการตรวจจับการรั่วไหล หากไม่มีการรั่วไหล ตัวแทนโฟมจะผ่านคุณสมบัติ
(3) หลังจากที่ระบบสูญญากาศผ่านการทดสอบความดันแล้ว ระบบควรทำการทดสอบระดับสูญญากาศ 24 ชั่วโมงตามเอกสารการออกแบบ และอัตราความดันไม่ควรเกิน 5%
(4) การทดสอบการรั่วไหล สำหรับระบบท่อเกรด ppb และ ppt ตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้อง ไม่ควรถือว่าไม่มีการรั่วไหล แต่จะใช้การทดสอบปริมาณการรั่วไหลในระหว่างการออกแบบ นั่นคือ การทดสอบปริมาณการรั่วไหลจะดำเนินการหลังจากการทดสอบความหนาแน่นของอากาศ ความดันคือความดันใช้งาน และหยุดความดันเป็นเวลา 24 ชั่วโมง การรั่วไหลเฉลี่ยต่อชั่วโมงน้อยกว่าหรือเท่ากับ 50ppm ตามที่ผ่านการรับรอง การคำนวณการรั่วไหลมีดังนี้:
ก=(1-P2T1/P1T2)*100/ท
ในสูตร:
การรั่วไหลต่อชั่วโมง (%)
P1-ความดันสัมบูรณ์ในช่วงเริ่มต้นการทดสอบ (Pa)
P2-ความดันสัมบูรณ์เมื่อสิ้นสุดการทดสอบ (Pa)
T1-อุณหภูมิสัมบูรณ์ในช่วงเริ่มต้นการทดสอบ (K)
T2-อุณหภูมิสัมบูรณ์เมื่อสิ้นสุดการทดสอบ (K)