การประยุกต์ท่อส่งก๊าซความบริสุทธิ์สูงในระบบวิศวกรรมอิเล็กทรอนิกส์

โรงงานวงจรรวมขนาดใหญ่มากของโครงการ 909 เป็นโครงการก่อสร้างที่สำคัญของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศของฉันในช่วงแผนห้าปีที่เก้าเพื่อผลิตชิปที่มีความกว้างของเส้น 0.18 ไมครอนและมีเส้นผ่านศูนย์กลาง 200 มม.

เทคโนโลยีการผลิตของวงจรรวมขนาดใหญ่มากไม่เพียงแต่เกี่ยวข้องกับเทคโนโลยีที่มีความแม่นยำสูง เช่น การตัดเฉือนระดับไมโครเท่านั้น แต่ยังต้องการความบริสุทธิ์ของก๊าซสูงอีกด้วย
การจัดหาก๊าซปริมาณมากสำหรับโครงการ 909 ได้รับการจัดหาโดยการร่วมทุนระหว่าง Praxair Utility Gas Co., Ltd. ของสหรัฐอเมริกาและฝ่ายที่เกี่ยวข้องในเซี่ยงไฮ้ เพื่อร่วมกันจัดตั้งโรงงานผลิตก๊าซ โรงงานผลิตก๊าซตั้งอยู่ติดกับโรงงานของโครงการ 909 อาคารครอบคลุมพื้นที่ประมาณ 15,000 ตารางเมตร ข้อกำหนดด้านความบริสุทธิ์และผลผลิตของก๊าซต่างๆ

ไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูง (PN2) ไนโตรเจน (N2) และออกซิเจนบริสุทธิ์สูง (PO2) ผลิตโดยการแยกอากาศ ไฮโดรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PH2) ผลิตโดยกระบวนการอิเล็กโทรไลซิส อาร์กอน (Ar) และฮีเลียม (He) ถูกซื้อจากภายนอก ก๊าซเสมือนได้รับการทำให้บริสุทธิ์และกรองเพื่อใช้ในโครงการ 909 ก๊าซพิเศษจะถูกจ่ายเป็นขวด และตู้บรรจุขวดแก๊สจะอยู่ในโรงปฏิบัติงานเสริมของโรงงานผลิตวงจรรวม
ก๊าซอื่นๆ ยังรวมถึงระบบ CDA ของอากาศอัดแห้งที่สะอาด ซึ่งมีปริมาณการใช้งาน 4185 ลบ.ม./ชม. จุดน้ำค้างแรงดัน -70°C และขนาดอนุภาคไม่เกิน 0.01um ในก๊าซ ณ จุดใช้งาน ระบบหายใจอัดอากาศ (BA) ปริมาณการใช้งาน 90 ลบ.ม./ชม. ความดันจุดน้ำค้าง 2°C ขนาดอนุภาคในก๊าซ ณ จุดใช้งานไม่เกิน 0.3um ระบบสูญญากาศในกระบวนการ (PV) ปริมาณการใช้งาน 582 ลบ.ม./ชม. ระดับสุญญากาศ ณ จุดใช้งาน -79993Pa . ระบบสุญญากาศทำความสะอาด (HV) ปริมาณการใช้งาน 1440m3/ชม. ระดับสุญญากาศที่จุดใช้งาน -59995 Pa ห้องอัดอากาศและห้องปั๊มสุญญากาศตั้งอยู่ในพื้นที่โรงงานโครงการ 909 ทั้งคู่

การเลือกใช้วัสดุและอุปกรณ์ท่อ
ก๊าซที่ใช้ในการผลิต VLSI มีข้อกำหนดด้านความสะอาดที่สูงมากท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยปกติจะใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด และการควบคุมความสะอาดควรสอดคล้องหรือสูงกว่าระดับความสะอาดของพื้นที่ที่ใช้งาน! นอกจากนี้ ท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงมักใช้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาด ไฮโดรเจนบริสุทธิ์ (PH2) ออกซิเจนบริสุทธิ์สูง (PO2) และก๊าซพิเศษบางชนิดเป็นก๊าซไวไฟ ระเบิดได้ รองรับการเผาไหม้หรือเป็นพิษ หากระบบท่อส่งก๊าซได้รับการออกแบบไม่ถูกต้องหรือเลือกวัสดุไม่ถูกต้อง ไม่เพียงแต่ความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ใช้ที่จุดส่งก๊าซจะลดลงเท่านั้น แต่ยังจะล้มเหลวอีกด้วย เป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการ แต่ไม่ปลอดภัยต่อการใช้งานและจะก่อให้เกิดมลพิษต่อโรงงานที่สะอาดส่งผลต่อความปลอดภัยและความสะอาดของโรงงานที่สะอาด
การรับประกันคุณภาพของก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ณ จุดใช้งานไม่เพียงแต่ขึ้นอยู่กับความถูกต้องแม่นยำของการผลิตก๊าซ อุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ และตัวกรองเท่านั้น แต่ยังได้รับผลกระทบในวงกว้างจากปัจจัยหลายประการในระบบท่ออีกด้วย หากเราพึ่งพาอุปกรณ์การผลิตก๊าซ อุปกรณ์ทำให้บริสุทธิ์ และตัวกรอง การกำหนดข้อกำหนดที่แม่นยำยิ่งขึ้นอย่างไร้ขีดจำกัดเพื่อชดเชยการออกแบบระบบท่อก๊าซหรือการเลือกใช้วัสดุที่ไม่เหมาะสมนั้นไม่ถูกต้อง
ในระหว่างกระบวนการออกแบบของโครงการ 909 เราได้ปฏิบัติตาม “รหัสสำหรับการออกแบบโรงงานสะอาด” GBJ73-84 (มาตรฐานปัจจุบันคือ (GB50073-2001)), “รหัสสำหรับการออกแบบสถานีอากาศอัด” GBJ29-90, “รหัส สำหรับการออกแบบสถานีออกซิเจน” GB50030-91 “รหัสสำหรับการออกแบบสถานีไฮโดรเจนและออกซิเจน” GB50177-93 และมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้องสำหรับการเลือกวัสดุและอุปกรณ์เสริมท่อส่ง “รหัสสำหรับการออกแบบโรงงานสะอาด” กำหนดการเลือกวัสดุท่อและวาล์วดังนี้

(1) หากความบริสุทธิ์ของก๊าซมากกว่าหรือเท่ากับ 99.999% และจุดน้ำค้างต่ำกว่า -76°C ให้ใช้ท่อสเตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้าหรือท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ด้วย ควรใช้ผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า วาล์วควรเป็นวาล์วไดอะแฟรมหรือวาล์วสูบลม

(2) หากความบริสุทธิ์ของก๊าซมากกว่าหรือเท่ากับ 99.99% และจุดน้ำค้างต่ำกว่า -60°C ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า ยกเว้นวาล์วสูบลมที่ควรใช้กับท่อส่งก๊าซที่ติดไฟได้ บอลวาล์วควรใช้กับท่อส่งก๊าซอื่นๆ

(3) หากจุดน้ำค้างของอากาศอัดแห้งต่ำกว่า -70°C ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดเงา หากจุดน้ำค้างต่ำกว่า -40°C ควรใช้ท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) หรือท่อเหล็กไร้รอยต่อชุบสังกะสีแบบจุ่มร้อน วาล์วควรเป็นวาล์วสูบลมหรือบอลวาล์ว

(4) วัสดุวาล์วควรเข้ากันได้กับวัสดุท่อเชื่อมต่อ

ตามข้อกำหนดของข้อกำหนดและมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้อง เมื่อเลือกวัสดุท่อเราจะพิจารณาประเด็นต่อไปนี้เป็นหลัก:

(1) การซึมผ่านของอากาศของวัสดุท่อควรมีขนาดเล็ก ท่อที่ทำจากวัสดุต่างกันมีการซึมผ่านของอากาศต่างกัน หากเลือกท่อที่มีการซึมผ่านของอากาศมากกว่า จะไม่สามารถกำจัดมลภาวะได้ ท่อสแตนเลสและท่อทองแดงป้องกันการแทรกซึมและการกัดกร่อนของออกซิเจนในบรรยากาศได้ดีกว่า อย่างไรก็ตาม เนื่องจากท่อสแตนเลสมีการใช้งานน้อยกว่าท่อทองแดง ท่อทองแดงจึงมีความกระตือรือร้นในการปล่อยให้ความชื้นในบรรยากาศซึมเข้าสู่พื้นผิวด้านในได้ดีกว่า ดังนั้นในการเลือกท่อสำหรับท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง ควรเลือกใช้ท่อสแตนเลสเป็นอันดับแรก

(2) พื้นผิวด้านในของวัสดุท่อถูกดูดซับและมีผลกระทบเล็กน้อยต่อการวิเคราะห์ก๊าซ หลังจากที่ท่อสแตนเลสได้รับการประมวลผลแล้ว จะมีก๊าซจำนวนหนึ่งยังคงอยู่ในโครงตาข่ายโลหะ เมื่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงไหลผ่าน ก๊าซส่วนนี้จะเข้าสู่การไหลของอากาศและก่อให้เกิดมลภาวะ ในเวลาเดียวกัน เนื่องจากการดูดซับและการวิเคราะห์ โลหะบนพื้นผิวด้านในของท่อจะผลิตผงจำนวนหนึ่ง ทำให้เกิดมลพิษกับก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง สำหรับระบบท่อที่มีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.999% หรือระดับ ppb ควรใช้ท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L)

(3) ความต้านทานการสึกหรอของท่อสแตนเลสดีกว่าท่อทองแดง และฝุ่นโลหะที่เกิดจากการกัดเซาะของการไหลของอากาศค่อนข้างน้อย โรงงานผลิตที่มีข้อกำหนดด้านความสะอาดสูงกว่าสามารถใช้ท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) หรือท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ได้ ห้ามใช้ท่อทองแดง

(4) สำหรับระบบท่อที่มีความบริสุทธิ์ของก๊าซสูงกว่า 99.999% หรือระดับ ppb หรือ ppt หรือในห้องสะอาดที่มีระดับความสะอาดของอากาศ N1-N6 ที่ระบุใน “รหัสการออกแบบโรงงานที่สะอาด” ท่อที่สะอาดเป็นพิเศษหรือท่อ EP ที่สะอาดเป็นพิเศษควรจะถูกนำมาใช้ ทำความสะอาด “ท่อสะอาดที่มีพื้นผิวด้านในเรียบเป็นพิเศษ”

(5) ระบบท่อส่งก๊าซพิเศษบางระบบที่ใช้ในกระบวนการผลิตเป็นก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง ท่อในระบบท่อเหล่านี้ต้องใช้ท่อสแตนเลสที่ทนต่อการกัดกร่อนเป็นท่อ มิฉะนั้นท่อจะเสียหายจากการกัดกร่อน หากเกิดจุดสึกกร่อนบนพื้นผิว ห้ามใช้ท่อเหล็กไร้ตะเข็บธรรมดาหรือท่อเหล็กเชื่อมอาบสังกะสี

(6) โดยหลักการแล้ว ควรเชื่อมการเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซทั้งหมด เนื่องจากการเชื่อมท่อเหล็กอาบสังกะสีจะทำลายชั้นสังกะสี จึงไม่ใช้ท่อเหล็กอาบสังกะสีสำหรับท่อในห้องคลีนรูม

เมื่อพิจารณาปัจจัยข้างต้นแล้ว ท่อและวาล์วท่อส่งก๊าซที่เลือกในโครงการ &7& มีดังนี้:

ท่อของระบบไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูง (PN2) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบไนโตรเจน (N2) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบไฮโดรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (PH2) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบออกซิเจนความบริสุทธิ์สูง (PO2) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) พร้อมผนังด้านในขัดเงาด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อระบบอาร์กอน (Ar) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และใช้วาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบฮีเลียม (He) ทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบอากาศอัดแห้ง (CDA) ที่สะอาดทำจากท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดมัน และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบอัดอากาศหายใจ (BA) ทำจากท่อสแตนเลส OCr18Ni9 (304) ที่มีผนังด้านในขัดมัน และวาล์วทำจากบอลวาล์วสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อระบบสุญญากาศสำหรับกระบวนการ (PV) ทำจากท่อ UPVC และวาล์วทำจากวาล์วปีกผีเสื้อสุญญากาศที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อระบบสุญญากาศทำความสะอาด (HV) ทำจากท่อ UPVC และวาล์วทำจากวาล์วปีกผีเสื้อสุญญากาศที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน
ท่อของระบบแก๊สพิเศษทั้งหมดทำจากท่อสแตนเลสคาร์บอนต่ำ 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ที่มีผนังด้านในขัดด้วยไฟฟ้า และวาล์วทำจากวาล์วสูบลมสแตนเลสที่ทำจากวัสดุชนิดเดียวกัน

3 การก่อสร้างและติดตั้งท่อ
3.1 ส่วนที่ 8.3 ของ "ประมวลกฎหมายการออกแบบอาคารโรงงานที่สะอาด" กำหนดข้อกำหนดต่อไปนี้สำหรับการเชื่อมต่อท่อ:
(1) การเชื่อมต่อท่อควรเชื่อม แต่ควรทำเกลียวท่อเหล็กชุบสังกะสีแบบจุ่มร้อน วัสดุปิดผนึกของการเชื่อมต่อแบบเกลียวต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของข้อ 8.3.3 ของข้อกำหนดนี้
(2) ท่อสแตนเลสควรเชื่อมต่อโดยการเชื่อมอาร์กอนอาร์กและการเชื่อมแบบชนหรือการเชื่อมแบบซ็อกเก็ต แต่ควรเชื่อมต่อท่อก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงโดยการเชื่อมแบบชนโดยไม่มีเครื่องหมายบนผนังด้านใน
(3) การเชื่อมต่อระหว่างท่อและอุปกรณ์ควรเป็นไปตามข้อกำหนดการเชื่อมต่อของอุปกรณ์ เมื่อใช้การเชื่อมต่อท่อควรใช้ท่อโลหะ
(4) การเชื่อมต่อระหว่างท่อและวาล์วควรเป็นไปตามข้อบังคับดังต่อไปนี้

1 วัสดุปิดผนึกที่เชื่อมต่อท่อและวาล์วก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงควรใช้ปะเก็นโลหะหรือปลอกโลหะคู่ตามความต้องการของกระบวนการผลิตและลักษณะของก๊าซ
2. วัสดุปิดผนึกที่การเชื่อมต่อแบบเกลียวหรือหน้าแปลนควรเป็นโพลีเตตราฟลูออโรเอทิลีน
3.2 ตามข้อกำหนดของข้อกำหนดและมาตรการทางเทคนิคที่เกี่ยวข้อง การเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงควรเชื่อมให้มากที่สุด ควรหลีกเลี่ยงการเชื่อมแบบชนโดยตรงระหว่างการเชื่อม ควรใช้ปลอกท่อหรือข้อต่อสำเร็จรูป ปลอกท่อควรทำจากวัสดุชนิดเดียวกันและมีความเรียบของพื้นผิวด้านในเหมือนกับท่อ ระดับระหว่างการเชื่อม เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันของชิ้นส่วนเชื่อม ควรนำก๊าซป้องกันบริสุทธิ์เข้าไปในท่อเชื่อม สำหรับท่อสแตนเลส ควรใช้การเชื่อมอาร์กอนอาร์ก และควรนำก๊าซอาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์เท่ากันเข้าไปในท่อ ต้องใช้การเชื่อมต่อแบบเกลียวหรือการเชื่อมต่อแบบเกลียว เมื่อเชื่อมต่อหน้าแปลน ควรใช้ปลอกโลหะสำหรับการเชื่อมต่อแบบเกลียว ยกเว้นท่อออกซิเจนและท่อไฮโดรเจนซึ่งควรใช้ปะเก็นโลหะ ท่ออื่นๆ ควรใช้ปะเก็นโพลีเตตราฟลูออโรเอทิลีน การใช้ยางซิลิโคนเล็กน้อยกับปะเก็นก็ช่วยได้เช่นกัน เพิ่มประสิทธิภาพการปิดผนึก ควรใช้มาตรการที่คล้ายกันเมื่อทำการเชื่อมต่อหน้าแปลน
ก่อนเริ่มงานติดตั้ง จะต้องตรวจสอบท่อด้วยสายตาโดยละเอียดฟิตติ้ง, วาล์ว ฯลฯ จะต้องดำเนินการ ผนังด้านในของท่อสแตนเลสธรรมดาควรดองก่อนการติดตั้ง ท่อ ข้อต่อ วาล์ว ฯลฯ ของท่อส่งออกซิเจนควรห้ามใช้น้ำมันโดยเด็ดขาด และควรล้างจาระบีอย่างเคร่งครัดตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้องก่อนการติดตั้ง
ก่อนที่จะติดตั้งและใช้งานระบบ ระบบท่อส่งและจ่ายควรถูกกำจัดให้หมดด้วยก๊าซบริสุทธิ์สูงที่ส่งมา ซึ่งไม่เพียงแต่เป่าอนุภาคฝุ่นที่ตกลงมาในระบบโดยไม่ได้ตั้งใจในระหว่างขั้นตอนการติดตั้ง แต่ยังมีบทบาทในการทำให้แห้งในระบบท่อ โดยกำจัดส่วนหนึ่งของก๊าซที่มีความชื้นซึ่งถูกดูดซับโดยผนังท่อและแม้กระทั่งวัสดุท่อ

4. การทดสอบและการยอมรับแรงดันท่อ
(1) หลังจากติดตั้งระบบแล้ว จะต้องดำเนินการตรวจสอบด้วยรังสีเอกซ์ 100% ของท่อที่ขนส่งของเหลวที่มีพิษสูงในท่อส่งก๊าซพิเศษ และคุณภาพจะต้องไม่ต่ำกว่าระดับ II ท่ออื่น ๆ จะต้องได้รับการตรวจสอบด้วยรังสีสุ่มตัวอย่างและอัตราส่วนการตรวจสอบตัวอย่างจะต้องไม่น้อยกว่า 5% คุณภาพจะต้องไม่ต่ำกว่าเกรด III
(2) หลังจากผ่านการตรวจสอบแบบไม่ทำลายแล้ว ควรทำการทดสอบแรงดัน เพื่อให้มั่นใจถึงความแห้งและความสะอาดของระบบท่อ จะต้องไม่ทำการทดสอบแรงดันไฮดรอลิก แต่ควรใช้การทดสอบแรงดันลม การทดสอบแรงดันอากาศควรทำโดยใช้ไนโตรเจนหรืออากาศอัดที่ตรงกับระดับความสะอาดของห้องคลีนรูม แรงดันทดสอบของไปป์ไลน์ควรเป็น 1.15 เท่าของแรงดันการออกแบบ และแรงดันทดสอบของไปป์ไลน์สุญญากาศควรเป็น 0.2MPa ในระหว่างการทดสอบควรค่อยๆ เพิ่มความดันอย่างช้าๆ เมื่อความดันเพิ่มขึ้นถึง 50% ของแรงดันทดสอบ หากไม่พบความผิดปกติหรือการรั่วไหล ให้เพิ่มแรงดันทีละขั้นตอนต่อไปอีก 10% ของแรงดันทดสอบ และรักษาแรงดันให้คงที่เป็นเวลา 3 นาทีในแต่ละระดับจนกระทั่งแรงดันทดสอบ . ปรับความดันให้คงที่เป็นเวลา 10 นาที จากนั้นลดแรงกดลงตามแรงดันที่ออกแบบ ควรกำหนดเวลาหยุดแรงดันตามความต้องการในการตรวจจับการรั่วไหล สารเกิดฟองมีคุณสมบัติหากไม่มีการรั่วไหล
(3) หลังจากที่ระบบสุญญากาศผ่านการทดสอบแรงดันแล้ว ควรทำการทดสอบระดับสุญญากาศตลอด 24 ชั่วโมงตามเอกสารการออกแบบ และอัตราแรงดันไม่ควรเกิน 5%
(4) การทดสอบการรั่วไหล สำหรับระบบท่อเกรด ppb และ ppt ตามข้อกำหนดที่เกี่ยวข้อง ไม่ควรถือว่ามีการรั่วไหลว่ามีคุณสมบัติ แต่จะใช้การทดสอบปริมาณการรั่วไหลในระหว่างการออกแบบ นั่นคือ การทดสอบปริมาณการรั่วไหลจะดำเนินการหลังจากการทดสอบความหนาแน่นของอากาศ ความดันคือความดันในการทำงาน และความดันจะหยุดทำงานเป็นเวลา 24 ชั่วโมง การรั่วไหลเฉลี่ยต่อชั่วโมงน้อยกว่าหรือเท่ากับ 50ppm ตามคุณสมบัติ การคำนวณการรั่วไหลมีดังนี้:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/ต
ในสูตร:
การรั่วไหลหนึ่งชั่วโมง (%)
P1-ความดันสัมบูรณ์ที่จุดเริ่มต้นของการทดสอบ (Pa)
P2-ความดันสัมบูรณ์เมื่อสิ้นสุดการทดสอบ (Pa)
T1-อุณหภูมิสัมบูรณ์ที่จุดเริ่มต้นของการทดสอบ (K)
อุณหภูมิสัมบูรณ์ T2 เมื่อสิ้นสุดการทดสอบ (K)